Nga painga me nga ngoikoretanga o te hangarau paninga sputtering

I tata nei, he maha nga kaiwhakamahi i patai mo nga painga me nga huakore o te hangarau paninga sputtering, E ai ki nga whakaritenga a o taatau kaihoko, inaianei ka tohatoha nga tohunga mai i te Tari Hangarau RSM, me te tumanako ki te whakaoti rapanga.Tera pea nga waahanga e whai ake nei:

　　1, Kore i taurite te pupuhi magnetron

Ki te whakaaro ko te rere aukume e haere ana i roto me te pito o waho o te pou aukume o roto me te pito o waho o te katote katoo katoo e kore e taurite, he katode katoo katoo katoo kore taurite.Ko te papa autō o te magnetron sputtering cathode noa e kukū ana ki te taha o te mata i whaaia, i te mea ko te papa autō o te magnetron sputtering cathode taurite ka puta mai i te whaainga.Ko te papa aukume o te katode magnetron noa e aukati ana i te plasma e tata ana ki te mata o te whaainga, ko te plasma e tata ana ki te tïpako he tino ngoikore, a ka kore te tïpako e pupuhihia e nga katote kaha me nga irahiko.Ka taea e te papa autō magnetron cathode kore-equilibrium te toro atu i te plasma ki tawhiti atu i te mata o te whaainga me te ruku i te tïpako.

　　2、 Irirangi auau (RF) sputtering

Ko te kaupapa o te whakatakoto i te kiriata whakamaarama: ka pa atu te kaha kino ki te kaitarai e tuu ana ki muri o te whaainga whakamaarama.I roto i te plasma whakaheke mura, ka tere haere te pereti kaiarahi katote pai, ka puhipuhi i te taumata whakamarumaru kei mua i a ia kia pupuhi.Ka taea e tenei pupuhi noa mo te 10-7 hēkona.Whai muri i tera, ko te kaha pai ka puta mai i te utu pai kua whakaemihia ki runga i te taumata whakamarumaru ka whakakore i te kaha kino i runga i te pereti kaikawe, na reira ka mutu te pupuhi o nga katote pai kaha-nui ki runga i te taumata whakamarumaru.I tenei wa, ki te huri te polarity o te hiko o te hiko, ka pupuhi nga irahiko i te pereti whakamarumaru me te whakakore i te utu pai i runga i te pereti whakamarumaru i roto i te 10-9 hēkona, ka kore e taea.I tenei wa, ko te huri i te polarity o te hiko ka taea te whakaputa i te pupuhi mo te 10-7 hēkona.

Nga painga o te RF sputtering: e rua nga taumata whakarewa me nga whaainga dielectric ka taea te pupuhi.

　　3, DC magnetron sputtering

Ko te taputapu whakakikorua o te magnetron sputtering e whakanui ake ana i te papa autō i roto i te DC sputtering cathode target, ka whakamahi i te kaha Lorentz o te papa autō ki te here me te whakawhānui i te ara o nga irahiko i roto i te papa hiko, ka piki ake te tupono o te tukinga i waenga i nga irahiko me nga ngota hau, ka piki ake te tere katote o ngota hau, ka whakanui ake i te maha o nga katote kaha-nui e pupuhi ana i te whaainga me te whakaheke i te maha o nga irahiko hiko teitei e pupuhi ana i te taputapu whakakikorua.

Ko nga painga o te pupuhi magnetron planar:

1. Ka taea e te kiato o te kaha te eke ki te 12w/cm2;

2. Ka taea e te ngaohiko whaainga te tae ki te 600V;

3. Ka eke te pehanga hau ki te 0.5pa.

Ko nga ngoikoretanga o te pupuhi magnetron planar: ko te whaainga ka hanga he hongere pupuhi i roto i te waahi o te huarahi, kaore i te rite te tarai o te mata katoa o te whaainga, a ko te reeti whakamahi o te whaainga ko te 20% - 30% anake.

　　4、 Waea waenga AC magnetron sputtering

E pa ana ki tera i roto i nga taputapu hiko AC magnetron sputtering, ko te nuinga o nga wa e rua nga whaainga he rite te rahi me te ahua ka whirihora taha ki te taha, ka kiia ko nga whaainga mahanga.He whakaurunga kua whakatarewatia.I te nuinga o te waa, e rua nga whaainga ka whakakahahia i te wa kotahi.I roto i te tukanga o te auau reo AC magnetron tauhohenga sputtering, nga taumata e rua mahi rite anode me cathode i roto i te tahuri, a ka mahi ratou rite anode cathode tetahi ki tetahi i roto i te huringa haurua kotahi.I te wa e noho ana te whainga ki te haurua o te hurihanga toraro, ka pupuhihia te mata o te whaainga ka pupuhihia e nga katote pai;I roto i te huringa haurua pai, ka whakaterehia nga irahiko o te plasma ki te mata o te whaainga ki te whakakore i te utu pai kua whakaemihia ki runga i te mata whakamarumaru o te mata o te whaainga, e kore e aukati i te mura o te mata o te whaainga, engari ka whakakorea ano te ahuatanga o te " ngaro anode”.

Ko nga painga o te auau takawaenga takirua tauhohenga sputtering ko:

(1) Te reiti waipara teitei.Mo nga whainga silicon, ko te reiti waipara o te reanga tauhohenga o te reo he 10 nga wa e rite ana ki te mokowhiti reactive DC;

(2) Ka taea te whakapumau i te tukanga sputtering i te waahi mahi kua whakaritea;

(3) Ka whakakorehia te ahuatanga o te "ignition".Ko te kiato koha o te kiriata whakamaarama kua rite he maha nga ota o te nui iti iho i tera o te tikanga whakapoipoi urupare DC;

(4) He pai ake te pāmahana o te tïpako ki te whakapai ake i te kounga me te piri o te kiriata;

(5) Mēnā he māmā ake te tuku hiko ki te taurite ki te whainga i te tuku hiko RF.

　　5、 Ko te pupuhi magnetron tauhohenga

I roto i te tukanga sputtering, ka whangaia te hau tauhohenga ki te tauhohe ki nga matūriki kua pakaru hei whakaputa i nga kiriata pūhui.Ka taea e ia te tuku hau hohenga ki te tauhohe ki te whaainga puhui puhoi i te wa ano, ka taea hoki te tuku hau hohenga ki te tauhohe ki te konganuku koranu koranu ranei i te wa kotahi ki te whakarite i nga kiriata pūhui me te ōwehenga matū kua hoatu.

Ko nga painga o nga kiriata puhui whakahiato magnetron sputtering:

(1) Ko nga rauemi whainga me nga hau tauhohenga e whakamahia ana ko te hāora, te hauota, te waiwaro, me etahi atu, he mea ngawari ki te whiwhi i nga hua tino parakore, e pai ana ki te whakarite i nga kiriata puhui parakore teitei;

(2) Ma te whakatikatika i nga waahanga o te tukanga, ka taea te whakarite i nga kiriata matū matū kore ranei, kia taea ai te whakatika i nga ahuatanga o nga kiriata;

(3) Kaore i te teitei te pāmahana o te tïpako, he iti noa nga here i runga i te tïpako;

(4) He pai mo te whakakikorua o nga waahanga nui me te mohio ki nga mahi ahumahi.

I roto i te tukanga o te pupuhi magnetron tauhohenga, he ngawari ki te puta te koretake o te pupuhi puhui, te nuinga tae atu ki:

(1) He uaua ki te whakarite i nga taumata whakahuihui;

(2) Ko te ahuatanga o te paheketanga o te pewa (arc discharge) i puta mai i te paihana o te whaainga me te koretake o te mahi mokemoke;

(3) He iti te tere o te putunga putunga;

(4) He tiketike te kiato koha o te kiriata.