Ma te Kaitohutohu Hangarau o te RSM e korero ki a koe nga painga o nga whainga porotakaro me te maataki magnetron sputtering?Ki te whakatauritea ki etahi atu whainga pupuhi magnetron, ka mau tonu nga huanga o te whakakikoruatanga pai o te whakakikoruatanga o nga whaainga tapawha tapawha, ka taea te whakanui i te whakamahinga o nga whaainga ma nga huarahi e rua e whai ake nei:
(1) Ka tae nga roopu e rua (e wha) o nga rua annular i runga i te mata o te whaainga ki tetahi hohonutanga, ka taea te huri i te kaupapa matua (waahanga aukume) 45 ° e pa ana ki te ngongo whainga, na etahi atu waahanga kei runga i te ngongo whaainga. kare ano i waikura ka taea te whakamahi;
(2) I te wa e hangaia ana te kaupapa matua o te porotakaroa me te papaarangi magnetron sputtering target hei kaupapa hurihuri (kei te huri haere te kaupapa matua i te wa e pupuhi ana), ka taea te pakaru o te mata o te whaainga mai i te paparanga ma te paparanga kaore he rua.I tenei wa, ka tino pai te whakamahi i te whaainga, a, ko te reiti whakamahi o te whaainga ka eke ki te 50% ~ 60% Ina he whakarewa utu nui te taonga, he mea tino nui tenei.
Ma te whakamahi i te kaupapa o te aukume me te hu pou i roto i te coaxial cylindrical magnetron sputtering target ki te whakaoti i te raru o te mutunga o te papa aukume, ka taea te huri i te whaainga rererangi tapawhā ki roto i te kaupapa porotakaro me te papaahoa magnetron sputtering target, Ka taea e te whaainga te whakanui i te tere o te whakamahi o te whaainga. i te pupuri i te pai o te whakakikoruatanga o te papa rererangi tapawha kia pai ake ai nga painga ohaoha.
Wā tuku: Hūrae-04-2022