E mohio ana tatou katoa, he maha nga korero mo nga whaainga pupuhi, a he tino whanui ano o raatau waahi tono.He rereke ano nga momo whaainga e whakamahia ana i nga waahi rereke.I tenei ra, me ako tatou mo te whakarōpūtanga o nga mara tono kua whaaia me te etita o RSM!
1, Whakamaramatanga o te whainga pupuhi
Ko te Sputtering tetahi o nga hangarau matua mo te whakarite i nga rawa kiriata angiangi.Ka whakamahia e ia nga katote i hangaia e te puna katote ki te whakatere me te kohikohi i roto i te korehau ki te hanga i te kurupae katote tere-tere, ka pupuhi i te mata totoka, ka whakawhiti nga katote i te kaha o te hiko me nga ngota i runga i te mata totoka, kia taea ai e nga ngota kei runga i te totoka. ka wehea te mata mai i te totoka ka waiho ki te mata tïpako.Ko te totoka kua pupuhihia ko te rauemi mata mo te whakarite i te kiriata angiangi kua tuuhia ma te pupuhi, e kiia nei ko te sputtering target.
2、 Whakar
1. Semiconductor ūnga
(1) Ko nga whaainga noa: ko nga whaainga noa i roto i tenei mara ko nga konganuku whakarewa teitei penei i te tantalum / parahi / titanium / konumohe / koura / nickel.
(2) Whakamahinga: te nuinga whakamahia hei rauemi mata matua mo iahiko whakauru.
(3) Nga whakaritenga mahi: nga whakaritenga hangarau tiketike mo te ma, te rahi, te whakauru, me etahi atu.
2. Whainga mo te whakaaturanga papa papatahi
(1) Ko nga whaainga noa: ko nga whaainga noa i tenei mara ko te konumohe / parahi / molybdenum / nickel / Niobium / silicon / chromium, etc.
(2) Te Whakamahinga: Ko te nuinga o tenei momo whaainga ka whakamahia mo nga momo momo kiriata-rohe nui penei i nga pouaka whakaata me nga pukamahi.
(3) Nga whakaritenga mahi: nga whakaritenga tiketike mo te ma, te waahi nui, te rite, me etahi atu.
3. Rauemi whainga mo te pūtau solar
(1) Ko nga whaainga noa: konumohe / parahi / molybdenum / chromium / ITO / Ta me etahi atu whaainga mo nga pūtau solar.
(2) Whakamahinga: te nuinga whakamahia i roto i te "paparanga matapihi", paparanga arai, hiko me te kiriata conductive.
(3) Nga whakaritenga mahi: nga whakaritenga hangarau tiketike me te whanuitanga o te tono.
4. Whainga mo te rokiroki korero
(1) Ko nga whaainga noa: ko nga whaainga noa o te cobalt / nickel / ferroalloy / chromium / tellurium / selenium me etahi atu rauemi mo te rokiroki korero.
(2) Te Whakamahinga: Ko tenei momo rauemi e whakamahia ana mo te upoko autō, te paparanga waenga me te paparanga o raro o te puku whatu me te kōpae whatu.
(3) Nga whakaritenga mahi: e hiahiatia ana te nui o te rokiroki me te tere tere o te tuku.
5. Whainga mo te whakarereke taputapu
(1) Ko nga whaainga noa: ko nga whaainga noa penei i te titanium / zirconium / chromium konumohe konumohe kua whakarerekehia e nga taputapu.
(2) Whakamahinga: te nuinga o te wa e whakamahia ana mo te whakapakari mata.
(3) Nga whakaritenga mahi: nga whakaritenga mahi teitei me te oranga roa.
6. Nga whaainga mo nga taputapu hiko
(1) Ko nga whaainga noa: ko nga konumohe konumohe noa / nga taumata silicide mo nga taputapu hiko
(2) Te kaupapa: te tikanga e whakamahia ana mo nga parenga kiriata angiangi me nga punga.
(3) Nga whakaritenga mahi: te iti o te rahi, te pumau, te iti o te whakarea o te pāmahana
Wā tuku: Hūrae-27-2022