I tata nei, he maha nga hoa i patai mo nga ahuatanga o nga whaainga molybdenum sputtering.I roto i te ahumahi hiko, ki te whakapai ake i te pai o te pupuhi me te whakarite i te kounga o nga kiriata kua tukuna, he aha nga whakaritenga mo nga ahuatanga o nga whaainga molybdenum sputtering?Inaianei ma nga tohunga hangarau o RSM e whakamarama mai ki a matou.
1. Maamaa
Ko te maatanga teitei he whakaritenga ahuatanga mo te molybdenum sputtering target.Ko te teitei ake o te ma o te whaainga molybdenum, ko te pai ake o te mahi o te kiriata sputtered.Ko te tikanga, kia 99.95% te ma o te molybdenum sputtering ūnga (he hautau papatipu, he rite ki raro).Engari, me te whakapai tonu i te rahi o te taputapu karaihe i roto i te ahumahi LCD, ka hiahiatia kia roa te roa o te waea waea me te whanui o te raina kia angiangi.Hei whakarite i te riterite o te kiriata me te kounga o te waea, me whakanui ake te ma o te molybdenum sputtering target.Na reira, kia rite ki te rahi o te taputapu karaihe me te taiao whakamahi, ko te ma o te molybdenum sputtering ūnga e hiahiatia ana kia 99.99% - 99.999% teitei ake ranei.
Molybdenum sputtering ūnga is used as cathode source in sputtering.Ko nga poke i roto i te totoka me te hāora me te kohu wai kei roto i nga pores te puna parahanga matua o nga kiriata kua takoto.I tua atu, i roto i te ahumahi hiko, no te mea katote whakarewa alkali (Na, K) he ngāwari ki te riro katote pūkoro i roto i te paparanga marara, kua heke te mahi o te taputapu taketake;Ko nga huānga penei i te uranium (U) me te titanium (TI) ka tukuna he α X-ray, ka hua mai he pakaru ngawari o nga taputapu;Ko nga katote rino me te nickel ka pakaru te atanga me te pikinga o nga huānga hāora.Na reira, i roto i te whakaritenga o te molybdenum sputtering ūnga, me tino whakahaere enei huānga poke ki te whakaiti ratou ihirangi i roto i te ūnga.
2. Te rahi o te witi me te tohatoha rahi
Ko te tikanga, he hanganga polycrystalline te whaainga molybdenum sputtering, a ka taea te rahi o te witi mai i te micron ki te mirimita.Ko nga hua whakamatautau e whakaatu ana he tere ake te tere o te pupuhi o te piro o te witi pai i tera o te whainga witi parakore;Mo te whaainga he rereke te rahi o te witi, ko te tohatoha matotoru o te kiriata kua penapena he rite ano hoki.
3. Te takotoranga tioata
Na te mea he ngawari nga ngota o te whaainga kia pai ake te pupuhi i te taha o te whakaritenga tata o nga ngota i roto i te ahunga hexagonal i te wa e pupuhi ana, kia tutuki ai te tere o te pupuhi, ka piki ake te tere o te pupuhi ma te whakarereke i te hanganga karaihe o te whaainga.Ko te ahunga karaihe o te whaainga he nui te awe ki te riterite matotoru o te kiriata sputtered.Na reira, he mea tino nui ki te whiwhi i tetahi anga whaanui e anga ana ki te karaihe mo te mahi pupuhi o te kiriata.
4. Whakatoto
I roto i te tukanga o te paninga sputtering, i te wa e pupuhihia ana te whaainga pupuhi me te iti o te kiato, ka puta ohorere te hau kei roto i nga pores o roto o te whaainga, ka puta te pakaru o nga matūriki whainga nui-rahi, matūriki ranei, ka pupuhihia te taonga kiriata. na nga irahiko tuarua i muri i te hanganga o te kiriata, ka puta ko te pakaruhanga matūriki.Ko te ahua o enei matūriki ka whakaiti i te kounga o te kiriata.Hei whakaiti i nga pores i roto i te whaainga pakari me te whakapai ake i te mahi kiriata, ko te whaainga sputtering te tikanga kia nui te kiato.Mo te whainga molybdenum sputtering, me neke ake i te 98% te kiato whanaunga.
5. Te herenga o te whainga me te tahuhu
Ko te tikanga, me hono te whainga molybdenum sputtering ki te konupuku kore-haora (ko te konumohe me etahi atu rawa) tahuhu i mua i te pupuhi, kia pai ai te kawe waiariki o te whainga me te tahuhu i te wa e mahi ana.I muri i te here, me whakahaere te tirotiro ultrasonic ki te whakarite ko te waahi kore hononga o nga mea e rua he iti iho i te 2%, kia rite ki te whakatutuki i nga whakaritenga o te pupuhi kaha-nui me te kore e hinga.
Wā tuku: Hūrae-19-2022