I nga tau kua pahure ake nei, me te ahunga whakamua o te hangarau whakauru (IC) hangarau, kua tere whakawhanakehia nga tono e pa ana ki nga waahanga whakauru.Ko te whainga konumohe parakore teitei o te konumohe, he mea tautoko i te hanga o nga hononga whakarewa ara iahiko whakauru, kua waiho hei kaupapa wera i roto i nga rangahau a-whare tata nei.ka whakaatu mai te ētita o RSM ki a matou i nga ahuatanga o te konumohe parakore konumohe koranu sputtering target.
Hei whakapai ake i te kaha o te pupuhi o te magnetron sputtering target me te whakarite i te kounga o nga kiriata kua oti te whakatakoto, he maha nga whakamatautau e whakaatu ana kei reira etahi whakaritenga mo te hanganga, microstructure me te whakatakotoranga witi o te ultra-high pure konumohe koranu sputtering target.
Ko te rahi o te witi me te takotoranga witi o te whaainga he nui te awe ki te whakarite me nga taonga o nga kiriata IC.Ko nga hua e whakaatu ana ka heke te reiti waipara i te pikinga o te rahi o te witi;Mo te whainga pupuhi me te hanganga rite, ko te tere o te pupuhi o te whaainga me te rahi o te witi iti he tere ake i te whaainga me te rahi o te witi;Ko te ahua o te rahi o te witi o te whaainga, ka nui ake te rite o te tohatoha matotoru o nga kiriata kua penapena.
I raro i taua taputapu pupuhi me nga tawhā tukanga, ka piki ake te reiti o te koranu Al Cu i runga i te pikinga o te kiato ngota, engari ko te nuinga o te waa ka mau i roto i te awhe.Ko te painga o te rahi o te witi i runga i te reiti pupuhi na te huringa o te kiato ngota me te huringa o te rahi o te witi;Ko te reiti waipara te nuinga e pa ana ki te takotoranga witi o te whaainga koranu Al Cu.I runga i te whakarite i te wahanga o nga (200) rererangi karaihe, ko te pikinga o te wahanga o te (111), (220) me te (311) nga rererangi karaihe ka piki ake te reiti waipara.
Ko te rahi o te witi me te takotoranga witi o nga whaainga konumohe parakore ultra-tiketike ka whakatikahia me te whakahaere ma te homogenization ingot, te mahi wera me te rerystallization annealing.Na te whanaketanga o te rahi angiangi ki te 20.32cm (8in) me te 30.48cm (12in), kei te piki haere ano te rahi o te whaainga, e tuku ana i nga whakaritenga teitei ake mo nga whaainga koranu konumohe maamaa ultra-tiketike.Hei whakapumau i te kounga o te kiriata me te hua, me tino whakahaere nga tawhā tukatuka whaainga kia pai ai te kakahu o te hanganga moroiti o te whaainga me te whakatakotoranga witi kia kaha (200) me (220) nga kakano rererangi.
Wā tuku: Hune-30-2022