1. Tikanga pupuhi Magnetron:
Ka taea te wehewehea te pupuhi a Magnetron ki roto i te DC sputtering, te auau reo me te RF sputtering
A. He iti te tuku hiko hiko a DC, he kino te kiato o te kiriata kua penapena.Ko te tikanga, he iti te kaha o te whakamahi i nga pākahiko photothermal me te kiriata angiangi, a, ko te whaainga ko te pupuhi he kori whakarewa.
B. Ko te kaha o te pupuhi RF he tiketike, a, ko te waahi o te pupuhi ka taea te kore-whakahaere, te whaainga whakahaere ranei.
C. Waenga auau sputtering ūnga e taea te ūnga uku ranei ūnga whakarewa.
2. Te whakarōpūtanga me te whakamahi i nga whaainga pupuhi
He maha nga momo whaainga mokowhiti, he rereke ano nga tikanga whakarōpūtanga.E ai ki te ahua, ka wehewehea ki te whainga roa, te whaainga tapawha me te whaainga porohita;E ai ki te hanganga, ka taea te wehea ki te whaainga whakarewa, te whaainga koranu me te whaainga pūhui uku;E ai ki nga mara tono rereke, ka taea te wehea ki roto i nga whaainga karaehe e pa ana ki te semiconductor, te tuhi i nga whaainga karaehe reo, te whakaatu i nga whaainga karaima, me etahi atu. Kei te whakamahia te nuinga o nga whaainga Sputtering ki nga umanga hiko me nga korero, penei i te umanga rokiroki korero.I roto i tenei ahumahi, ka whakamahia nga whaainga pupuhi ki te whakarite i nga hua kiriata angiangi e tika ana (kopae pakeke, upoko autō, kōpae whatu, me etahi atu).I tenei wa.Na te whanaketanga tonu o te umanga korero, kei te piki haere te tono mo te rekoata i nga whaainga uku i te maakete.Ko te rangahau me te whakaputanga o te rekoata i nga taumata reo kua noho hei aro nui.
Te wa tuku: Mei-11-2022