Kei te mohio tatou katoa, ko te whakaetonga korehau me te pupuhi katote e whakamahia ana i roto i te paninga korehau.He aha te rereketanga i waenga i te paninga whakaetonga me te paninga sputtering?I muri mai, ka tohatoha nga tohunga hangarau mai i te RSM ki a maatau.
Ko te paninga whakaetonga korehau ko te whakamahana i nga mea ka whakaeto ki tetahi pāmahana na roto i te whakamahana whakawera, te kurupae irahiko ranei me te pupuhi taiaho i roto i te taiao me te tohu korehau o te iti iho i te 10-2Pa, kia kaha ai te wiri waiariki o te ngota ngota ranei. ngota i roto i te rauemi nui ake i te pūngao here o te mata, kia he maha nui o ngota ngota ngota whakaeto ranei sublimate, a ka tohe tika i runga i te tïpako ki te hanga i te kiriata.Ka whakamahia e te paninga pupuhi katote te tere tere o nga katote pai i puta mai i te rerenga hau i raro i te mahi a te papa hiko ki te pupuhi i te whaainga hei cathode, kia mawhiti ai nga ngota, ngota ngota ranei i roto i te whaainga, ka heke ki te mata o te taputapu whakakikorua ki te hanga. te kiriata e hiahiatia ana.
Ko te tikanga tino whakamahia o te whakaetonga whakaetonga korehau ko te whakawera whakawera, e whai nga painga o te hanganga ohie, utu iti me te mahi watea;Ko te ngoikoretanga ko te kore e pai mo nga konganuku whakaahuru me nga rauemi dielectric atete teitei.Ka taea e te whakamahana hiko hiko me te whakamahana laser te hinga i nga ngoikoretanga o te whakamahana aukati.I roto i te whakamahana irahiko kurupae, ka whakamahia te kurupae irahiko arotahi ki te whakamahana tika i nga mea kua puhipuhi, ka huri te kaha o te hiko o te kurupae irahiko hei hiko wera, na reira ka mimiti te rauemi.Ko te whakamahana taiaho e whakamahi ana i te taiaho mana nui hei puna whakamahana, engari na te utu nui o te taiaho hiko teitei, ka taea anake te whakamahi i roto i etahi taiwhanga rangahau i naianei.
He rereke te hangarau mokowhiti i te hangarau whakaetonga korehau.Ko te "Sputtering" e pa ana ki te ahuatanga e pupuhi ana nga matūriki kua utaina ki te mata totoka (te whaainga) ka puta mai nga ngota totoka, ngota ngota ranei mai i te mata.Ko te nuinga o nga matūriki kua puta kei roto i te ahua ngota, e kiia nei he ngota pupuhi.Ko nga matūriki kapohia ki te pupuhi i te whaainga he irahiko, he katote, he matūriki kore ranei.Na te mea he ngawari te tere o nga katote i raro i te papa hiko ki te whiwhi i te kaha o te hiko e hiahiatia ana, ko te nuinga o ratou ka whakamahi i nga katote hei matūriki poma.Ko te mahi pupuhi ka ahu mai i te rere o te mura, ara, ka puta mai nga katote katote i te rere hau.He rerekee nga hangarau pupuhi ka mau i nga momo tukunga mura.Ka whakamahia e te diode sputtering DC te rere mura;Triode sputtering ko te rere mura e tautokona ana e te wera cathode;Ko te RF sputtering e whakamahi ana i te RF glow discharge;Ko te pupuhi aukumete he rerenga kanapa e whakahaerehia ana e te mara autō annular.
Ina whakaritea ki te paninga whakaetonga korehau, he maha nga painga o te paninga sputtering.Hei tauira, ka taea te pupuhi tetahi matū, ina koa nga huānga me nga pūhui he tiketike te ira whakarewa me te iti o te pehanga kohu;He pai te piri ki waenga i te kiriata me te tïpako;kiato kiriata teitei;Ka taea te whakahaere i te matotoru o te kiriata me te pai o te tukurua.Ko te ngoikoretanga he uaua nga taputapu me te hiahia ngaohiko teitei.
I tua atu, ko te huinga o te tikanga whakaetonga me te tikanga sputtering ko te whakakikorua katote.Ko nga painga o tenei tikanga ko te kiriata kua whiwhia he kaha te piri ki te tïpako, te reiti waipara teitei me te kiato kiriata teitei.
Wā tuku: Hūrae-20-2022