He maha nga paanga o te whaainga, a he nui te waahi whanaketanga maakete.He tino whai hua ki nga waahi maha.Tata ki te katoa o nga taputapu pupuhi hou e whakamahi ana i nga aukume kaha ki te hikoi irahiko ki te whakatere i te katote o te argon huri noa i te whaainga, ka piki ake te tupono o te tukinga i waenga i te whaainga me nga katote argon.Inaianei kia titiro tatou ki te mahi a te putere i roto i te paninga korehau.
Whakapai ake i te reiti pupuhi.Ko te tikanga, ka whakamahia te pupuhi DC mo te paninga whakarewa, i te wa e whakamahia ana te RF AC sputtering mo nga taonga autō uku kore-conductive.Ko te maataapono matua ko te whakamahi i te rere mura ki te patu i nga katote argon (AR) i runga i te mata o te whaainga i roto i te korehau, a ka tere nga cation i roto i te plasma ki te tere ki te mata hiko kino hei taonga parai.Ma tenei paanga ka rere nga rawa o te whaainga ka whakatakoto ki runga i te tïpako hei hanga kiriata.
I te nuinga o te korero, he maha nga ahuatanga o te paninga kiriata na roto i te tukanga sputtering: (1) ka taea te hanga i te whakarewa, te koranu, te insulator ranei hei raraunga kiriata.
(2) I raro i nga tikanga whakatakotoranga e tika ana, ka taea te hanga i te kiriata he rite tonu te hanga mai i nga whaainga maha me te raruraru.
(3) Ko te ranunga, te puhui ranei o nga mea i whaaia me nga ngota ngota hau ka taea te whakaputa ma te taapiri i te hāora me etahi atu hau kaha ki roto i te hau rere.
(4) Ka taea te whakahaere i te waa whakaurunga o naianei me te wa sputtering, a he ngawari ki te whiwhi i te matotoru o te kiriata tino tika.
(5) Ka whakatauritea ki etahi atu tukanga, he pai ki te hanga i nga kiriata kakahu kakahu nui.
(6) Ko nga matūriki karekau kare e pangia e te kaha, a ka taea te whakarite noa nga tuunga o te whainga me te tïpako.
Te wa tuku: Mei-17-2022