Me tino mohio tatou ki te whaainga inaianei, inaianei kei te piki haere ano te maakete e whai ake nei, e whai ake nei he aha te mahi matua o te whaainga sputtering i tohatohahia e te ētita mai i te RSM
Ko te ma
Ko te ma o nga rauemi whaainga ko tetahi o nga tohu mahi matua, na te mea he nui te awe o te ma o nga rauemi whaainga ki te mahi o te kiriata kikokore.Heoi, i roto i te whakamahinga mahi, kaore i te rite nga whakaritenga ma o nga rauemi whaainga.Hei tauira, me te whanaketanga tere o te ahumahi microelectronics, kua whakawhanakehia te rahi o te maramara silicon mai i te 6 ", 8" ki te 12 ", a kua whakahekehia te whanui waea mai i te 0.5um ki te 0.25um, 0.18um me te 0.13um ranei.I mua, ka taea e te ma o te 99.995% nga rauemi whaainga te whakatutuki i nga whakaritenga tukanga o 0.35umIC.Ko te ma o te rauemi ūnga ko 99.999% ranei ara 99.9999% mo te whakarite o 0.18um rārangi.
ihirangi poke
Ko nga poke i roto i te whaainga totoka me te hāora me te kohu wai i roto i nga pores ko nga puna parahanga matua o te whakatakoto kiriata.He rereke nga whakaritenga o nga rauemi mo nga kaupapa rereke mo nga ihirangi poke rereke.Hei tauira, ko nga whaainga konumohe parakore me te konumohe koranu e whakamahia ana i roto i te umanga semiconductor he whakaritenga motuhake mo te ihirangi o nga konganuku alkali me nga mea irirangi.
Te kiato
Hei whakaiti i te porosity i roto i te kaupapa totoka me te whakapai ake i te mahi o te kiriata sputtering, te nuinga o te wā e hiahiatia ana kiato tiketike o te ūnga.Ko te kiato o te whainga e pa ana ki te reiti o te pupuhi engari ki nga ahuatanga hiko me te mata o te kiriata.Ko te teitei ake te kiato ūnga, te pai te mahi kiriata.I tua atu, ko te whakanui ake i te kiato me te kaha o te whainga ka pai ake te tu atu o te whainga i te ahotea waiariki i roto i te mahi pupuhi.Ko te kiato tetahi o nga tohu mahi matua o te whaainga.
Te rahi o te witi me te tohatoha rahi o te witi
Ko te tikanga he polycrystalline me te rahi o te witi mai i te micrometer ki te mirimita.Mo te kaupapa kotahi, he tere ake te reiti pupuhi o te whainga me nga kakano iti i tera o te whaainga me nga kakano nui.Ko te tiritiri matotoru o nga kiriata ka waiho ma te putunga putunga he iti ake te rereketanga o te witi (te tohatoha rite) he riterite ake.
Wā tuku: Akuhata-04-2022