Ko nga whakaritenga mahi mo nga rauemi e whaaia ana i roto i te umanga rokiroki whatu

Ko nga mea e whakamahia ana i roto i te umanga rokiroki raraunga me tino ma, me whakaiti nga poke me nga pores hei karo i te whakatipuranga o nga matūriki poke i te wa e pupuhi ana.Ko nga mea e whakamahia ana mo nga hua o te kounga teitei me iti te rahi o te matūriki karaihe me te riterite, me te kore he ahua karaihe.Kei raro nei, me titiro ki nga whakaritenga o te ahumahi rokiroki whatu mo te rauemi i whäia?

1. Maamaa

I roto i nga tono whaihua, he rereke te ma o nga rauemi whaainga i runga i nga momo ahumahi me nga whakaritenga.Heoi, i te nuinga o te waa, ko te teitei ake o te parakore o nga mea e whaaia ana, ko te pai ake o te mahi o te kiriata sputtered.Hei tauira, i roto i te ahumahi rokiroki whatu, te ma o te rauemi ūnga e hiahiatia ana kia nui ake i te 3N5 ranei 4N

2. Ihirangi poke

Ko te rauemi i whäia hei puna cathode i roto i te pupuhi, a ko nga poke i roto i te totoka me te hāora me te kohu wai i roto i nga pores ko nga puna parahanga matua mo te whakatakoto i nga kiriata kikokore.I tua atu, he whakaritenga motuhake mo nga whaainga o nga whakamahinga rereke.Ko te tango i te ahumahi rokiroki whatu hei tauira, ko nga mea poke i roto i nga whaainga sputtering me tino iti rawa te whakahaere hei whakarite i te kounga o te paninga.

3. Te rahi o te witi me te tohatoha rahi

I te nuinga o te wa, he hanganga polycrystalline te rauemi i whäia, me te rahi o te witi mai i te micrometers ki te mirimita.Mo nga whainga he rite tonu te hanganga, he tere ake te tere o te pupuhi o nga taumata witi pai i tera o nga whaainga witi.Mo nga whaainga he iti ake nga rereketanga o te witi, ka nui ake te ahua o te matotoru o te kiriata kua whakatakotoria.

4. Kiato

Hei whakaiti i te porosity i roto i te rauemi ūnga totoka, me te whakapai ake i te mahi kiriata, ko te tikanga e hiahiatia ana kia nui te kiato o te rauemi ūnga sputtering.Te kiato o te rauemi ūnga te nuinga i runga i te tukanga faaineineraa.Ka taea e nga mea whaaia i hangaia ma te whakarewa me te whakarewanga karekau he pores kei roto i te papanga whaainga me te tino teitei te kiato.