Ka taea te wehea ki roto DC magnetron sputtering me RF magnetron sputtering.
Ko te tikanga o te DC sputtering e hiahia ana ka taea e te whaainga te whakawhiti i te utu pai i puta mai i te tukanga pupuhi katote ki te cathode i roto i te whakapiri tata ki a ia, katahi ka taea e tenei tikanga anake te pupuhi i nga raraunga kaiwhakahaere, kaore i te pai mo nga raraunga whakamaarama, na te mea Ko te utu katote i runga i te mata kaore e taea te whakakore i te wa e pupuhi ana i te whaainga whakamaarama, ka piki ake te kaha ki runga i te mata o te whaainga, ka tata katoa te ngaohiko tono ka whakamahia ki te whaainga, na reira ko nga tupono o te whakatere katote me te katote i waenga i te e rua nga pou ka whakaitihia, karekau ranei e taea te katote, ka arai ki te kore o te rere tonu, tae noa ki te aukati i te tuku me te pakaru o te pupuhi.No reira, me whakamahi te reo irirangi irirangi mokowhiti (RF) mo te whakamau i nga whaainga, i nga whaainga kore-whakarewa ranei he ngoikore te kawe.
Kei roto i te tukanga pupuhi nga tikanga whakamararatanga uaua me nga momo tukanga whakawhiti hiko: tuatahi, ka tukituki nga matūriki maiki ki nga ngota i whaaia, ka tukuna he wahanga o te hiko o nga matūriki maiki ki nga ngota i whaaia.Ko te kaha o te hiko o etahi ngota whainga ka nui ake i te arai ka hangaia e etahi atu ngota huri noa i a ratou (5-10ev mo nga konganuku), katahi ka turakina atu mai i te kurupae lattice lattice ki te whakaputa i nga ngota o waho-pae, Me nga tukinga tukurua me nga ngota tata. , ka puta he riima tukinga.Ka tae atu tenei riima tukinga ki te mata o te whainga, mena he nui ake te hiko o nga ngota e tata ana ki te mata o te mata o te mata (1-6ev mo nga konganuku), ka wehe enei ngota mai i te mata o te whaainga. ka tomo ki te korehau.
Ko te paninga pupuhi ko te mohio ki te whakamahi matūriki kua utaina ki te pupuhi i te mata o te taumata i roto i te korehau kia whakaemihia nga matūriki kua poma ki runga i te tïpako.I te nuinga o te waa, ka whakamahia te whakahekenga hau koretake iti ki te whakaputa katote maiki.Ko te whaainga o te cathode he mea whakakikoruatia, ka whakamahia te tïpako hei anode, 0.1-10pa argon me etahi atu hau karekau ranei ka whakauruhia ki roto i te ruma korehau, ka puta te rere o te kanapa i raro i te mahi a te cathode (target) 1-3kv DC teitei kino. ngaohiko 13.56MHz RF ngaohiko ranei.Ka pupuhi nga katote argon katote ki te mata o te whaainga, ka pakaru nga ngota ngota ka kohia ki runga i te tïpako kia hanga he kiriata kikokore.I tenei wa, he maha nga tikanga pupuhi, te nuinga tae atu ki te pupuhi tuarua, ki te kura tuatoru, ki te haurua ranei, ki te magnetron sputtering, ki te whainga, ki te RF sputtering, ki te whiria, ki te whakawhitiwhiti asymmetric, ki te RF sputtering, ki te kurupae katote me te reactive sputtering.
Na te mea ka pakaruhia nga ngota karekau i muri i te whakawhiti i te kaha kinetic me nga katote pai me te tekau o nga hiko hiko hiko, he nui te kaha o nga ngota karekau, he pai ki te whakapai ake i te kaha marara o nga ngota i te wa e whakaemihia ana, te whakapai ake i te pai o te whakatakotoranga o te taapu, me te hanga. ko te kiriata kua rite he kaha te piri ki te tïpako.
I roto i te sputtering, i muri i te hau katote, rere nga katote hau ki te ūnga hono ki te cathode i raro i te mahi o te mara hiko, a ka rere nga irahiko ki te kōhao taiepa whenua me tïpako.I tenei ara, i raro i te ngaohiko iti me te iti o te pehanga, he iti te maha o nga katote, he iti te kaha o te pupuhi o te whaainga;I te ngaohiko teitei me te pehanga teitei, ahakoa ka nui ake nga katote ka puta, he nui te kaha o nga irahiko e rere ana ki te tïpako, he mea ngawari ki te whakamahana i te tïpako me te pupuhi tuarua, e pa ana ki te kounga o te kiriata.I tua atu, ka nui haere hoki te tūponotanga o te tukinga i waenga i nga ngota ngota me nga ngota hau i roto i te rere ki te tïpako.Na reira, ka marara ki te kohao katoa, e kore e moumou noa te whaainga, engari ka poke ano ia paparanga i te wa e whakarite ana nga kiriata multilayer.
Hei whakaoti i nga ngoikoretanga o runga ake nei, i whakawhanakehia te hangarau DC magnetron sputtering i nga tau 1970.He pai te wikitoria i nga ngoikoretanga o te iti o te cathode sputtering tere me te pikinga o te pāmahana tïpako na nga irahiko.Na reira, kua whakawhanakehia tere me te whakamahi whanui.
Ko te kaupapa e whai ake nei: i roto i te magnetron sputtering, na te mea ka tukuna nga irahiko neke ki te kaha o Lorentz i roto i te papa aukume, ka huri to ratou orbit motini, ka huri haere ranei, ka roa ake to ratou ara neke.Na reira, ka piki ake te maha o nga tukinga me nga ngota hau e mahi ana, kia nui ake ai te kiato plasma, katahi ka tino pai ake te tere o te magnetron sputtering, a ka taea te mahi i raro i te ngaohiko pupuhi me te pehanga ki te whakaiti i te ahua o te parahanga kiriata;I tetahi atu taha, ka pai ake te kaha o nga ngota ngota i runga i te mata o te tïpako, na reira ka taea te whakapai ake i te kounga o te kiriata.I te wa ano, ka tae atu nga irahiko e ngaro ana te kaha na roto i nga tukinga maha ki te anode, kua waiho hei irahiko iti-kaha, katahi ka kore e wera te tïpako.Na reira, ko te magnetron sputtering nga painga o te "tere tere" me te "te pāmahana iti".Ko te kino o tenei tikanga ko te kore e taea te whakarite i te kiriata insulator, a ko te papa aukume koretake e whakamahia ana i roto i te electrode magnetron ka puta te ahua koretake o te whaainga, na te iti o te whakamahi o te whaainga, ko te tikanga ko te 20% - 30 anake. %.
Te wa tuku: Mei-16-2022