Mo te tono me te maataapono o te hangai i te hangarau whaainga, kua korero etahi o nga kaihoko ki a RSM, inaianei mo tenei raru e tino awangawanga ana, ka tohatoha nga tohunga hangarau ki etahi matauranga e pa ana.
Taupānga ūnga mokowhiti:
Ko nga matūriki utu (pēnei i te katote argon) ka pupuhi i te mata totoka, ka puta nga matūriki mata, penei i te ngota, te ngota ngota, te paihere ranei mai i te mata o te mea e kiia nei ko te "sputtering".I roto i te whakakikorua o te magnetron sputtering, ka whakamahia nga katote pai e hangaia ana e te argon ionization ki te pupuhi i te totoka (whaainga), ka waiho nga ngota koretake kua pakaru ki runga i te tïpako (mea mahi) hei hanga paparanga kiriata.E rua nga ahuatanga o te paninga a Magnetron sputtering: "te pāmahana iti" me te "tere".
Tikanga mokowhiti a Magnetron:
Ka taapirihia he papa autō orthogonal me te papa hiko i waenga i te pou whainga kapohia (cathode) me te anode, ka whakakiia te hau mokowhiti e hiahiatia ana (te nuinga o te hau Ar) i roto i te ruma korehau teitei.Ka hangaia e te aukume tuturu he mara autō 250-350 Gauss ki runga i te mata o te mea i whaaia, ka hangaia he mara hiko hiko me te papa hiko ngaohiko teitei.
I raro i te mahi a te papa hiko, ka katotehia te hau Ar ki nga katote pai me nga irahiko, a he pehanga teitei kino kei runga i te whaainga, na reira ko nga irahiko i puta mai i te pou o te whaainga ka pa ki te papa autō me te tupono katootanga o te mahi. piki hau.Ka hangaia he plasma kiato teitei tata ki te cathode, a ka tere nga katote Ar ki te mata o te whaainga i raro i te mahi a te kaha Lorentz me te pupuhi i te mata o te whaainga i runga i te tere tere, kia mawhiti atu ai nga ngota kua pupuhi i runga i te whaainga mai i te mata o te taumata teitei. pūngao kinetic ka rere ki te tïpako ki te hanga i te kiriata rite ki te parau tumu o te huringa torohaki.
I te nuinga o te waa ka wehewehea te pupuhi a Magnetron ki nga momo e rua: te pupuhi DC me te pupuhi RF.He maamaa te kaupapa o nga taputapu pupuhi DC, a he tere te tere i te wa e pupuhi ana te whakarewa.Ko te whakamahinga o te RF sputtering he nui ake, i tua atu i te pupuhi i nga taonga whakahaere, engari ano hoki te pupuhi i nga taonga kore-whakahaere, engari ano hoki te whakarite i te reactive sputtering o te waikura, te nitrides me te carbide me etahi atu mea whakauru.Mena ka piki ake te auau o te RF, ka huri te ngaruiti plasma sputtering.I tenei wa, kei te whakamahia te nuinga o nga wa o te electron cyclotron resonance (ECR) momo ngaruiti plasma sputtering.
Wā tuku: Akuhata-01-2022