He maha nga mahi a te whaainga me te whānuitanga o nga tono ki nga waahi maha.Ko nga taputapu pupuhi hou e tata ana ki te whakamahi i nga aukume kaha ki te hurihuri i nga irahiko ki te whakatere i te katote o te argon huri noa i te whaainga, ka nui ake te tupono o te tukinga i waenga i te whaainga me nga katote argon,
Whakanuia te reiti pupuhi.Ko te tikanga, ka whakamahia te pupuhi DC mo te paninga whakarewa, i te wa e whakamahia ana te pupuhi korero RF mo nga taonga autō uku kore-conductive.Ko te maataapono taketake ko te whakamahi i te rere mura ki te patu i nga katote argon (AR) i runga i te mata o te whaainga i roto i te korehau, a ka tere nga cation i roto i te plasma ki te tere ki te mata hiko kino ka rite ki nga mea kua pakaru.Ma tenei paanga ka rere nga rawa o te whaainga ka whakatakoto ki runga i te tïpako hei hanga kiriata.
I te nuinga o te waa, he maha nga ahuatanga o te paninga kiriata ma te whakamahi i te tukanga sputtering:
(1) Ko te whakarewa, te koranu, te insulator ranei ka taea te hanga hei raraunga kiriata kikokore.
(2) I raro i nga tikanga whakatakotoranga e tika ana, ka taea te hanga i te kiriata he rite tonu te hanga mai i nga whaainga maha me te raruraru.
(3) Ka taea te hanga i te ranunga, te puhui ranei o nga mea i whaaia me nga ngota ngota hau ma te taapiri i te hāora me etahi atu hau kaha ki roto i te hau rere.
(4) Ka taea te whakahaere i te waa whakaurunga o naianei me te wa sputtering, a he ngawari ki te whiwhi i te matotoru o te kiriata tino tika.
(5) He painga mo te hanga o etahi atu kiriata.
(6) Ko nga matūriki kua pupuhi karekau e pa ki te kaha o te kaha, a ka taea te whakarite noa te whainga me te tïpako.
Te wa tuku: Mei-24-2022