1, te whakarite i te pupuhi
He mea tino nui ki te pupuri i te ruma korehau, ina koa te maa o te punaha pupuhi.Ko nga toenga i hangaia e te hinu whakahinuhinu, te puehu me te paninga o mua ka kohia te kohu wai me etahi atu parakino, ka pa ki te tohu korehau me te whakanui ake i te kore o te hanga kiriata.Ko te ara iahiko poto, ko te whaanui whaanui ranei, te mata kiriata taratara me te nui o te poke matū he maha nga take i puta mai i te ruuma pupuhi poke, te pupuhi pu me te whaainga.Kia mau ai ki nga ahuatanga o te hanga o te paninga, me horoi me te whakamaroke i te hau pupuhi (argon or oxygen).I muri i te whakauru o te tïpako ki roto i te ruuma sputtering, me tango te hau kia tae ki te korehau e hiahiatia ana e te tukanga.Ko te uhi whakamarumaru i te waahi pouri, te pakitara o te kohao me te mata e tata ana me noho ma.I te wa e horoi ana i te ruuma korehau, ka tohe matou ki te whakamahi i te puhipuhi poi karaihe hei rongoa i nga waahanga puehu, me te hau kopeke hei tango i nga toenga o te pupuhi moata huri noa i te ruuma, katahi ka whakakoi marie i te mata o waho ki te pepa kirikiri konumohe.Whai muri i te whakakoi i te pepa kaima, ka horoia ki te waipiro, ki te acetone me te wai whakaheke.Tahi, ka tautokohia e ia te whakamahi i te miihini horoi miihini mo te horoi awhina.Ko nga whaainga i hangaia e te whakarewa Gaozhan ka whakakiia ki nga peeke kirihou hiri,
Hangaia i roto i te makuku-atete.I te wa e whakamahi ana i te whaainga, kaua e pa atu ki te whaainga me to ringa.Kia mahara: ka whakamahi i te whaainga, me mau i nga karapu tiaki korekore.Kaua rawa e pa tika ki o ringaringa
2、 Whakapaipai i te whaainga
Ko te kaupapa o te horoi i te whaainga ko te tango i te puehu, te paru ranei kei runga i te mata o te whaainga.
Ka taea te horoi i te whaainga whakarewa i nga waahanga e wha,
Ko te mahi tuatahi ko te horoi me te kakahu ngohengohe kore he mea kua ruia ki te acetone;
Ko te taahiraa tuarua he rite ki te taahiraa tuatahi, te horoi ki te waipiro;
Hipanga 3: horoi ki te wai deionized.I muri i te horoinga ki te wai kua whakakorehia te katote, tuu te whaainga ki roto i te oumu ka whakamaroke ki te 100 ℃ mo te 30 meneti.
Ko te horoi o te waikura me nga whaainga uku me mahi ma te "kakahu kore-lint".
Ko te tuawha ko te horoi i te whainga ki te argon me te pehanga teitei me te hau iti o te wai i muri i te tangohanga o te waahi puehu, kia taea ai te tango i nga matūriki poke katoa ka hanga pewa i roto i te punaha pupuhi.
3, taputapu ūnga
I roto i te tukanga o te whakaurunga o te whaainga, ko nga tikanga nui a Z ko te whakarite kia pai te hononga kawe waiariki i waenga i te whainga me te pakitara whakamatao o te pu pupuhi.Mena he kino te pakanga o te rakau whakamatao, he kino ranei te paahitanga o te pereti o muri, ka pakaru, ka piko ranei te taputapu i whäia, a ka tino paheketia te rere o te waiariki mai i te whainga o muri ki te whainga, na te korenga o te wera. i roto i te tukanga sputtering, a ka kapiti te ūnga ngaro ranei
Kia pai ai te kawe i te waiariki, ka taea te hoia he paparanga pepa graphite i waenga i te pakitara whakamatao cathode me te whaainga.Tena koa kia ata tirohia, kia marama hoki te papatahi o te pakitara whakamatao o te pu putere e whakamahia ana kia mau tonu te whakakai-O.
I te mea ko te ma o te wai whakamatao e whakamahia ana me te puehu ka puta i te wa e mahi ana nga taputapu ka waiho ki roto i te taika wai whakamatao cathode, he mea tika ki te tirotiro me te horoi i te puna wai whakamahana cathode i te wa e whakauru ana i te whaainga kia pai ai te maeneene. te tohanga o te wai whakamatao kia kore e purua te uru me te putanga.
Ko etahi o nga cathodes kua whakamaherehia kia whai waahi iti me te anode, na i te wa e whakauru ana i te whaainga, me whakarite kia kore he pa, he kaiarahi ranei i waenga i te cathode me te anode, ki te kore ka puta he ara iahiko poto.
Tirohia te pukapuka a te kaiwhakahaere taputapu mo nga korero mo te whakahaere tika i te whaainga.Mena kaore he korero penei i roto i te pukapuka kaiwhakamahi, me ngana ki te whakauru i te taputapu kia rite ki nga whakaaro e tika ana i tukuna e Gaozhan metal.I te wa e whakakaha ana i te taputapu whainga, tuatahi whakakoia tetahi raka ma te ringa, katahi ka whakamauhia tetahi atu pou ki runga i te hauroki ma te ringa.Whakahokia ano kia piri katoa nga tutaki o te taputapu, katahi ka piri ki tetahi mea.
4、 Te ara iahiko poto me te aro turuki
I muri i te otinga o te taputapu whaainga, me tirotirohia te ara iahiko poto me te piri o te cathode katoa,
E whakaarotia ana ki te whakatau mena he ara iahiko poto kei roto i te cathode ma te whakamahi i te mita parenga
Whakahāwea rarangi.I muri i te whakapumautanga karekau he ara iahiko poto i roto i te cathode, ka taea te tirotiro i te turuturu, ka taea te whakauru wai ki roto i te cathode hei whakapumau mena he rerenga wai.
5 、 Whainga i mua i te pupuhi
Ko te piro i mua i te pupuhi ka awhina i te pupuhi argon parakore, ka taea te horoi i te mata o te whaainga.I te wa e pupuhihia ana te whaainga, ka akiakihia kia piki haere te kaha o te pupuhi, a ko te pikinga o te mana o te whaainga uku ko te 1.5WH / cm2.Ko te tere sputtering o mua o te whainga whakarewa ka nui ake i tera o te poraka whainga uku, a ko te reeti piki hiko tika ko 1.5WH / cm2.
I roto i te tukanga o mua sputtering, me tirohia e tatou te arcing o te ūnga.Ko te wa i mua i te pupuhi he 10 meneti pea.Mena karekau he ahuatanga whakakoi, me whakanui tonu te mana putere
Ki te mana kua whakaritea.E ai ki te wheako, te Z mana sputtering teitei o te ūnga whakarewa he
25watts / cm2, 10watts / cm2 mo te whainga uku.Tena tirohia te turanga whakatakotoranga me te wheako o te pehanga ruma korehau i te wa e pupuhi ana i roto i te pukapuka whakahaere punaha a te kaiwhakamahi.Ko te tikanga, me whakarite kia iti ake te pāmahana wai i te putanga o te wai whakamatao i te 35 ℃, engari Z he mea nui kia pai te mahi o te punaha tohanga o te wai whakamatao.
Ko te tere tohanga o te wai supercooling ka tango i te wera, he tohu nui tenei ki te whakarite i te pupuhi tonu me te kaha nui.Mo nga whaainga whakarewa, ko te tikanga ko te rere o te wai whakamatao
20lpm pēhanga wai he āhua 5gmp;Mo nga whainga uku, e kiia ana ko te rere o te wai he 30lpm me te pehanga wai kei te 9gmp.
6, te tiaki i te whaainga
Hei aukati i te porowhita poto me te whakakorikori i puta mai i te kohao poke i roto i te mahi pupuhi, he mea tika ki te tango i te pupuhi kua whakaemihia ki waenganui me nga taha e rua o te ara pupuhi i nga waahanga,
Ka awhina ano tenei i nga kaiwhakamahi ki te pupuhi tonu i te kiato mana teitei
7, te rokiroki whaainga
Ko nga whaainga e whakaratohia ana e te konganuku Gaozhan kei roto i nga peeke kirihou paparua-rua.Ka tohe matou kia mau nga kaiwhakamahi i nga whaainga, ahakoa he konganuku, he karaima ranei, ki roto i te kete korehau.Ina koa, me penapena nga whaainga hononga i raro i nga tikanga korehau kia kore ai e pa te whakapouritanga o te paparanga hononga ki te kounga hononga.Mo te kohinga o nga whaainga whakarewa, e tohe ana matou kia kohia a Z ki nga peeke kirihou ma
Te wa tuku: Mei-13-2022