Na te pikinga o te hiahia o te maakete, he maha ake nga momo whaainga mokowhiti ka whakahoutia tonu.Ko etahi e waia ana, ko etahi kaore i te mohio ki nga kaihoko.Inaianei, e hiahia ana matou ki te korero ki a koe he aha nga momo o nga tohu whakangao magnetron.
Ko nga momo e whai ake nei te whainga mokowhiti: kowhatu punga whakakikorua koranu, koranu koranu, ko te koranu, ko te koranu, ko te koranu, ko te koranu, ko te koranu, ko te kowhatu, ko te punga, ko te punga, ko te carbide ceramic, ko te fluoride, ko te nitride, ko te nitride, ko te oxide ceramic. . ).
I te nuinga o te wa ka wehewehea te pupuhi Magnetron ki nga momo e rua: te pupuhi DC me te pupuhi RF.He maamaa te kaupapa o nga taputapu pupuhi DC, he tere hoki te tere i te wa e pupuhi ana te whakarewa.Ka whakamahia nuitia te RF sputtering.I tua atu i te pupuhi i nga raraunga whakahaere, ka taea hoki te pupuhi i nga raraunga kore-whakahaere.I taua wa ano, ka mahia ano hoki e te whainga mokowhiti te pupuhi tauhohenga ki te whakarite i nga raraunga puhui penei i te waikura, nitrides me te carbide.Mena ka piki te auau o te RF, ka huri te ngaruiti plasma sputtering.I tenei wa, e whakamahia nuitia ana te ngaruiti ngaruiti plasma resonance (ECR).
Te wa tuku: Mei-18-2022