Ko te kiriata angiangi i runga i te whaainga kua whakakikoruatia he ahua rauemi motuhake.I roto i te ahunga motuhake o te matotoru, he iti rawa te tauine, he rahinga ine moroiti.I tua atu, na te ahua me te atanga o te matotoru o te kiriata, ka mutu te haere tonu o nga taonga, na te mea he rereke nga ahuatanga o te kiriata me nga raraunga whaainga.Na ko te whaainga ko te nuinga o te whakamahi i te paninga magnetron sputtering, ka tangohia e te kaiwhakatikatika a Beijing Richmat kia mohio tatou. te maapono me nga pukenga o te paninga sputtering.
一、Maataapono o te paninga sputtering
Ko te pukenga whakakikoruatanga ko te whakamahi i te ahua o te anga maa katote, ka patua nga ngota o te whaainga mai i te ahuatanga e kiia nei ko te sputtering.Ko nga ngota ka whakatakotoria ki runga i te mata o te tïpako e kiia ana ko te whakakikoruatanga. te taumata cathode, me te rere ki te mata o te tïpako ki te whakatakoto ki roto i te kiriata. Ma te korero noa, ka whakamahia e te paninga sputtering te iti o te pehanga hau koretake te rere o te mura ki te whakaputa katote.
Ko te tikanga, ko nga taputapu whakakikorua kiriata e whakakikoruatia ana e rua nga electrodes i roto i te ruuma tuku korehau, a ko te whaainga cathode kei roto i nga raraunga paninga.Ko te ruma korehau kua whakakiia ki te hau argon me te pehanga 0.1 ~ 10Pa.Ka puta te rere o te mura ki te cathode i raro i te mahi o te ngaohiko teitei kino o 1~3kV dc ranei rf ngaohiko o 13.56mhz.Argon katote poma te mata ūnga me meinga te sputtered ngota ūnga ki te whakaemi i runga i te tïpako.
二、Sputtering paninga āhuatanga pūkenga
1, tere tāpae tere
Ko te rereketanga i waenga i te hiko hiko o te magnetron sputtering electrode me te hiko hiko e rua nga waahanga tuku iho ko te mea kua whakaritea te aukume ki raro i te whaainga, na reira ka puta te papa aukume koretake i runga i te mata o te whaainga. o te mara autō heterogeneous.Na te kaha arotahi, ka iti ake te mawhiti o nga irahiko.Ka huri te mara autō heterogeneous huri noa i te mata i whäia, a ko nga irahiko tuarua e mau ana i roto i te papa autō heterogeneous ka tukituki ki nga ngota ngota hau, ka pai ake te tere o te huringa o nga ngota ngota hau. Ka taea e koe te whiwhi i te pai o te paninga nui, me nga ahuatanga tukunga pai.
2, He iti te pāmahana tïpako
Ko te pupuhi tere o te magnetron, e mohiotia ana ko te pupuhi wera iti.Ko te take ka whakamahia e te taputapu nga rerenga i roto i te waahi o nga papa hiko e tika ana ki a raatau ano.Ko nga irahiko tuarua e puta ana i waho o te whaainga, i roto i tetahi ki tetahi.I raro i te mahi a te mara hiko tika, ka herea ki te taha o te mata o te whaainga ka neke haere i te huarahi i roto i te raina hurihuri porohita, ka patuki tonu ki nga ngota ngota hau ki te katote i nga ngota hau. ka pupuhi tonu, tae noa ki te ngaro katoa o te kaha i mua i te mawhiti mai i te mata o te whaainga tata ki te taputapu.No te mea he iti rawa te kaha o nga irahiko, kaore te pāmahana o te taumata e piki teitei.He nui tena ki te aukati i te pikinga o te pāmahana tïpako i puta mai i te puhipuhi irahiko hiko nui o te pupuhi diode noa, e whakaoti ana i te cryogenization.
3, He whanuitanga o nga hanganga membrane
He rereke te hanga o nga kiriata angiangi ma te whakaetonga korehau me te tukunga werohanga mai i tera i whiwhi mai i te kikokore o nga totoka nui.He rereke ki nga totoka o naianei, e whakarōpūtia ana he rite tonu te hanganga i roto i nga waahanga e toru, ko nga kiriata ka whakatakotoria ki roto i te wahanga hau ka whakarōpūhia he hanganga rereke.Ko te tipu o te pourangi o te kiriata ka puta mai i te mata convex taketake o te tïpako me etahi atarangi i nga waahanga rongonui o te tïpako.Heoi, he rerekee te ahua me te rahi o te pou na te pāmahana tïpako, te marara o te mata o ngota ngota, te nehua o ngota poke me te koki o nga ngota maiki e pa ana ki te mata tïpako.I roto i te nui o te pāmahana, ko te kiriata angiangi he hanganga kiko, kiato teitei, he mea tito he tioata poupou pai, koinei te hanganga ahurei o te kiriata pupuhi.
Ko te pehanga pupuhi me te tere whakaemi kiriata ka pa ki te hanganga o te kiriata.Na te mea ko nga ngota ngota hau te awe ki te pehi i te marara o nga ngota i runga i te mata o te tïpako, he pai te hua o te pehanga pupuhi teitei mo te hekenga pāmahana tïpako i roto i te tauira.Na reira, ko nga kiriata maiengi kei roto nga karepe pai ka taea te tiki mai i te pehanga pupuhi teitei.Ko tenei kiriata rahi witi iti e pai ana mo te whakahinuhinu, te whakakakahu i te aukati, te whakapakeke o te mata me etahi atu tono miihini.
4、Whakariterite te whakarite
Pūhui, ranunga, koranu, me etahi atu, he mea uaua ki te whakakikoruatia e te whakaetonga korehau na te mea he rereke nga pehanga kohu o nga waahanga, he rereke ranei i te wa whakamahana. Ko te tikanga whakakikorua ko te hanga i te paparanga mata o nga ngota paparanga ma te paparanga. ki te tïpako, i roto i tenei tikanga ko te tino pai te hanga kiriata pūkenga.Ka taea te whakamahi momo rauemi katoa i roto i te hanga whakakikorua ahumahi ma te pupuhi.
Te wa tuku: Apr-29-2022