Ko te Polysilicon tetahi mea nui e whaaia ana.Ma te whakamahi i te tikanga pupuhi magnetron ki te whakarite SiO2 me etahi atu kiriata angiangi ka taea e te papanga matrix te pai ake o te mata, te dielectric me te aukati waikura, e whakamahia nuitia ana i roto i te mata pa, te mata me etahi atu ahumahi.
Ko te tukanga o te whakarewa i nga tioata roa ko te mohio ki te whakamaaramatanga o te silicon wai mai i raro ki runga ma te whakahaere tika i te pāmahana o te whakamahana i roto i te papa wera o te oumu ingot me te wera o te wera o nga mea whakamahana waiariki, me te solidification roa tioata tere ko 0.8 ~ 1.2cm / h.I te wa ano, i roto i te tukanga o te whakakaha aronga, ka taea te mohio te wehewehenga o nga huānga whakarewa i roto i nga rauemi silicon, ka taea te purea te nuinga o nga mea whakarewa, ka taea te hanga i te hanganga witi polycrystalline silicon rite.
Ko te whakarewa i te polysilicon ka hiahia ano hoki ki te doped i roto i te tukanga whakaputa, kia taea ai te whakarereke i te kukū o nga poke tango i roto i te rewa silicon.Ko te dopant matua o p-momo maka polysilicon i roto i te ahumahi he silicon boron ariki koranu, i roto i nei te ihirangi boron ko e pā ana ki 0.025%.Ko te nui o te doping e whakatauhia ana e te taumata parenga o te wafer silicon.Ko te parenga tino pai ko te 0.02 ~ 0.05 Ω • cm, a ko te 2 × 1014cm-3 te kuhanga o te boron e rite ana. Heoi, ko te whakarea wehewehenga o te boron i roto i te silicon he 0.8, ka whakaatu i tetahi awenga wehewehe i roto i te tukanga whakakaha aronga, e ko, ka tohatohahia te huānga boron i roto i te rōnaki i te ahunga poutū o te ingot, a ka heke haere te parenga mai i raro ki te tihi o te ingot.
Wā tuku: Hūrae-26-2022