Ko te whakakikorua o te Magnetron sputtering he tikanga whakakikorua kohu tinana hou, ka whakatauritea ki te tikanga whakaetonga o mua, he tino whakamiharo ona painga i roto i nga waahanga maha.I te mea he hangarau pakeke, kua whakamahia te magnetron sputtering ki nga waahi maha.
Tikanga mokowhiti a Magnetron:
Ka taapirihia he papa autō orthogonal me te papa hiko i waenga i te pou whainga kapohia (cathode) me te anode, ka whakakiia te hau mokowhiti e hiahiatia ana (te nuinga o te hau Ar) i roto i te ruma korehau teitei.Ka hangaia e te aukume tuturu he papa autō 250-350 gaus ki runga i te mata o te mea i whaaia, ka tito te mara hiko orthogonal ki te mara hiko ngaohiko teitei.I raro i te pānga o te mara hiko, Ar hau ionization ki pai katote me te irahiko, ūnga me te he etahi pēhanga kino, i te ūnga i te pou i te pānga o te papa autō me te mahi hau ionization piki tūponotanga, hanga he plasma kiato tiketike tata te cathode, Ar katote i raro i te mahi a te kaha lorentz, tere ki te rere ki te mata o te whaainga, te pupuhi i te mata o te mata i runga i te tere tere, Ko nga ngota karekau i runga i te whaainga ka whai i te kaupapa o te hurihanga tere, ka rere atu i te mata o te whaainga me te kinetic teitei. pūngao ki te kiriata waipara tïpako.
I te nuinga o te waa ka wehewehea te pupuhi a Magnetron ki nga momo e rua: te pupuhi DC me te pupuhi RF.He maamaa te kaupapa o nga taputapu pupuhi DC, a he tere te tere i te wa e pupuhi ana te whakarewa.Ko te whakamahinga o te RF sputtering he nui ake, i tua atu i te pupuhi i nga taonga whakahaere, engari ano hoki te pupuhi i nga taonga kore-whakahaere, engari ano hoki te whakarite i te reactive sputtering o te waikura, te nitrides me te carbide me etahi atu mea whakauru.Mena ka piki ake te auau o te RF, ka huri te ngaruiti plasma sputtering.I tenei wa, kei te whakamahia te nuinga o nga wa o te electron cyclotron resonance (ECR) momo ngaruiti plasma sputtering.
Ko te whakakikorua a Magnetron i te papanga whaainga:
Ko nga mea e whaaia ana te whakarewa, te whakakikorua i nga mea whakakikorua i te koranu, i nga mea whakakikorua i te parapara, i nga taonga whakakikorua i te karaera, i nga rauemi whainga, i te carbide ceramic, i te mea e whaa ana, i te pukoro, i te nitride ceramic, i te nitride ceramic. nga mea e whaaia ana nga mea e whaa ana, nga mea e whaaia ana te kowhatu, nga mea e whaaia ana, e te Telluride, e te tahi atu mea, te chromium-doped silicon oxide te whaa (CR-SiO), te indium phosphide target (InP), te arataki arsenide (PbAs), te indium arsenide. whainga (InAs).
Wā tuku: Akuhata-03-2022